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| 브랜드 이름: | Suneast |
| 모델 번호: | SEO-100N |
| MOQ: | ≥1개 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 포장에 대한 세부 사항: | 합판 나무상자 |
| 지불 조건: | T/T |
고 용량 PID 조정 반도체 오븐 SEO 시리즈 공기 밀착
질소로 가득 찬 반도체 오븐은 강력한 보편성, 높은 안정성 및 높은 성능을 가지고 있습니다. 그것은 높은 용량의 수평 공기 재활용 시스템을 채택합니다.특수 챔버 구조와 밀폐 기술을 채택합니다., 반도체 제품의 높은 성능 요구 사항을 충족시키기 위해 우수한 공기 밀도와 온도 균일성을 갖습니다. 이 오븐은 반도체 웨이퍼를 완화하는 데 적합합니다.IC 패키지 (황제 기판), 은 젤, 실리카 젤, 에포시 樹脂), 유리 기판 및 기타 제품.
핵심 기술:
01 높은 성능의 온도 균일성을 달성하기 위한 고용량 수평 공기 순환 뜨거운 공기 시스템
02 방은 완전히 밀폐 설계, 스테인레스 스틸 판을 채택, 좋은 공기 밀착, 질소를 절약
03 높은 온도에서 오랫동안 안정적으로 작동 할 수있는 큰 크기의 터빈 블레이드
04 가열 속도는 제어 할 수 있습니다. 프로세스 프로필 설정에 대한 한 키 작동, 냉각 시스템을 통해 냉각, 생산 효율성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다.
05 고 정밀 온도 조절기, PID 조절, 제어 정확도는 0.5°C에 도달 할 수 있습니다, 신뢰할 수있는 제어, 안전한 사용
06 반도체 먼지 없는 작업장 및 제품의 요구 사항을 충족하기 위해 효율적인 청정 처리, 천도 청정실 노화 테스트
07 낮은 산소 함량 제어, 실시간 모니터링, 듀얼 채널 분석 시스템 산소 함량은 50PPM 내에서 제어 할 수 있습니다.
제품 특징:
반도체 오븐 챔버 구조
상부와 하부 상자는 뜨거운 공기 순환 시스템을 갖추고 있으며, 공기 속도와 부피는 조정 될 수 있으며, 다른 프로세스 매개 변수는 독립적으로 작동 할 수 있습니다.오븐 챔버는 고품질의 스테인리스 스틸로 만들어집니다오븐은 공간 활용을 향상시키기 위해 층층 브래킷을 갖추고 있습니다.
반도체 오븐 질소 시스템
방 안의 질소 충전, 독립적인 조절 기능을 갖춘 다중 흐름 미터로 장착되어 질소의 합리적인 사용, 균형 잡힌 분배를 보장합니다.다채널 산소 분석기, 상부와 하부 방의 산소 함량의 실시간 모니터링 값은 별도로 제어 할 수 있으며, 단일 방의 산소 함량은 500PPM 내에서 제어 할 수 있습니다 (선택:100PPM 내).
반도체 오븐 냉각 시스템
물 냉각 시스템이 채택됩니다. 핀 라디에이터 폭파 물 냉각, 오븐의 온도가 냉각되면 블로어는 핀 라디에이터를 통해 빠르게 열을 교환합니다.냉각시간을 크게 단축합니다.. 독특한 냉각 시스템, 높은 온도에서 즉각적인 냉각 증기 확장을 방지, 효과적으로 제품의 품질을 보호.
반도체 오븐 안전 보호 시스템
과열 보호 (스튜디오 온도가 너무 높지 않도록 하고 제품을 보호하기 위해) 과열 상황이 발생하면 즉시 전원을 차단합니다.동시에, 직원을 상기시키는 경보가 있습니다, 제품에 대한 더 나은 보호; 과도한 산소 함량의 통제 및 보호; 질소 저압 경보 보호;상부와 하부 상자는 전자 안전 잠금 장치가 장착되어 있습니다.그리고 장비에는 비상 정지 스위치가 있습니다.
반도체 오븐 맑음 테스트
테스트 후, 0.5μm 입자의 농도는 ≤35200이며, 이는 천급의 깨끗한 먼지 없는 높은 청결성 작업실의 생산 요구 사항을 충족시킵니다.
반도체 오븐 온도 프로파일 테스트
고 정밀 온도 조절기, PID 조절기, 고 용량 수평 공기 순환 뜨거운 공기 시스템, 고 성능 온도 균일성을 달성 할 수 있습니다.
제품 매개 변수
| 모델 번호 | SEO-100N |
| 상자 부분 | |
| 박스 크기 | 700 (L) * 550 (W) * 600 (H) mm |
| 박스 수 및 작동 방식 |
두 개의 상자, 각 상자는 독립적으로 실행할 수 있습니다 |
| 온공 시스템 | 조절 가능한 공기 속도와 부피와 함께 뜨거운 공기 순환 시스템 |
| 냉각 시스템 | 물 냉각 순환 시스템, 고객 작업실 냉각 물에 따라 |
| 질소 시스템 | 흐름 미터와 산소 분석기로 산소 함량을 실시간으로 표시합니다. |
| 내부 사양 | 스테인레스 스틸 지원 선반으로 장착되어 있으며, 선반 사이의 거리를 조절할 수 있습니다. |
| 제어 시스템 | |
| 작동 온도 범위 | 방 온도+10°C~250°C |
| 온도 조절 모드 | PID 닫힌 루프 제어 + SSR 드라이브 |
| 제어 시스템 | PC+PLC 전기 제어 시스템, 윈도우 운영 인터페이스 |
| 온도 정확성 | ±0.5°C |
| 온도 균일성 | ±1.5%°C (무부하) |
| 가열 시간 | ≤15분 ((200°C 무부하) |
| 냉각 속도 | 2~5°C/분 |
| 열력 | 10KW*2 |
| 산소 함량 조절 | ≤500PPM (선택:≤50PPM) |
| 작동 전압 | AC3Ø 5W 380V 50/60HZ |
| 전체 전력 | 21KW |
| MES 통신 프로토콜 | 표준 |
| 위생계급 | 1000급 |
| 기계 매개 변수 | |
| 차원 ((LxWxH) | 1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) mm |
| 무게 | 500~800kg |
| 색상 |
화려하고 뭉클한 흰색 |
알림:
1가스 소스 요구 사항: 질소 작동 압력 (사용 중 압력) >0.5-0.8Mpa, 질소 순도 99.999%.
2전력 요구 사항:
3단계 5선: 전압 380V, 주파수 50/60HZ
2선 지름 25mm 이상, 누출 보호 스위치 100A, 누출 보호 스위치 누출 용량 150-200mA
3바닥 압력 요구 사항: 1000kg/m2
4외부 환기 요구 사항: 2-Ø38mm 외부 지름의 공기 통로, 2*5M3/min의 환기 부피
5환경 요구 사항: 주변 온도 범위는 5~40°C, 상대 습도 범위는 20~95%입니다.
비디오
비디오
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| 브랜드 이름: | Suneast |
| 모델 번호: | SEO-100N |
| MOQ: | ≥1개 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 포장에 대한 세부 사항: | 합판 나무상자 |
| 지불 조건: | T/T |
고 용량 PID 조정 반도체 오븐 SEO 시리즈 공기 밀착
질소로 가득 찬 반도체 오븐은 강력한 보편성, 높은 안정성 및 높은 성능을 가지고 있습니다. 그것은 높은 용량의 수평 공기 재활용 시스템을 채택합니다.특수 챔버 구조와 밀폐 기술을 채택합니다., 반도체 제품의 높은 성능 요구 사항을 충족시키기 위해 우수한 공기 밀도와 온도 균일성을 갖습니다. 이 오븐은 반도체 웨이퍼를 완화하는 데 적합합니다.IC 패키지 (황제 기판), 은 젤, 실리카 젤, 에포시 樹脂), 유리 기판 및 기타 제품.
핵심 기술:
01 높은 성능의 온도 균일성을 달성하기 위한 고용량 수평 공기 순환 뜨거운 공기 시스템
02 방은 완전히 밀폐 설계, 스테인레스 스틸 판을 채택, 좋은 공기 밀착, 질소를 절약
03 높은 온도에서 오랫동안 안정적으로 작동 할 수있는 큰 크기의 터빈 블레이드
04 가열 속도는 제어 할 수 있습니다. 프로세스 프로필 설정에 대한 한 키 작동, 냉각 시스템을 통해 냉각, 생산 효율성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다.
05 고 정밀 온도 조절기, PID 조절, 제어 정확도는 0.5°C에 도달 할 수 있습니다, 신뢰할 수있는 제어, 안전한 사용
06 반도체 먼지 없는 작업장 및 제품의 요구 사항을 충족하기 위해 효율적인 청정 처리, 천도 청정실 노화 테스트
07 낮은 산소 함량 제어, 실시간 모니터링, 듀얼 채널 분석 시스템 산소 함량은 50PPM 내에서 제어 할 수 있습니다.
제품 특징:
반도체 오븐 챔버 구조
상부와 하부 상자는 뜨거운 공기 순환 시스템을 갖추고 있으며, 공기 속도와 부피는 조정 될 수 있으며, 다른 프로세스 매개 변수는 독립적으로 작동 할 수 있습니다.오븐 챔버는 고품질의 스테인리스 스틸로 만들어집니다오븐은 공간 활용을 향상시키기 위해 층층 브래킷을 갖추고 있습니다.
반도체 오븐 질소 시스템
방 안의 질소 충전, 독립적인 조절 기능을 갖춘 다중 흐름 미터로 장착되어 질소의 합리적인 사용, 균형 잡힌 분배를 보장합니다.다채널 산소 분석기, 상부와 하부 방의 산소 함량의 실시간 모니터링 값은 별도로 제어 할 수 있으며, 단일 방의 산소 함량은 500PPM 내에서 제어 할 수 있습니다 (선택:100PPM 내).
반도체 오븐 냉각 시스템
물 냉각 시스템이 채택됩니다. 핀 라디에이터 폭파 물 냉각, 오븐의 온도가 냉각되면 블로어는 핀 라디에이터를 통해 빠르게 열을 교환합니다.냉각시간을 크게 단축합니다.. 독특한 냉각 시스템, 높은 온도에서 즉각적인 냉각 증기 확장을 방지, 효과적으로 제품의 품질을 보호.
반도체 오븐 안전 보호 시스템
과열 보호 (스튜디오 온도가 너무 높지 않도록 하고 제품을 보호하기 위해) 과열 상황이 발생하면 즉시 전원을 차단합니다.동시에, 직원을 상기시키는 경보가 있습니다, 제품에 대한 더 나은 보호; 과도한 산소 함량의 통제 및 보호; 질소 저압 경보 보호;상부와 하부 상자는 전자 안전 잠금 장치가 장착되어 있습니다.그리고 장비에는 비상 정지 스위치가 있습니다.
반도체 오븐 맑음 테스트
테스트 후, 0.5μm 입자의 농도는 ≤35200이며, 이는 천급의 깨끗한 먼지 없는 높은 청결성 작업실의 생산 요구 사항을 충족시킵니다.
반도체 오븐 온도 프로파일 테스트
고 정밀 온도 조절기, PID 조절기, 고 용량 수평 공기 순환 뜨거운 공기 시스템, 고 성능 온도 균일성을 달성 할 수 있습니다.
제품 매개 변수
| 모델 번호 | SEO-100N |
| 상자 부분 | |
| 박스 크기 | 700 (L) * 550 (W) * 600 (H) mm |
| 박스 수 및 작동 방식 |
두 개의 상자, 각 상자는 독립적으로 실행할 수 있습니다 |
| 온공 시스템 | 조절 가능한 공기 속도와 부피와 함께 뜨거운 공기 순환 시스템 |
| 냉각 시스템 | 물 냉각 순환 시스템, 고객 작업실 냉각 물에 따라 |
| 질소 시스템 | 흐름 미터와 산소 분석기로 산소 함량을 실시간으로 표시합니다. |
| 내부 사양 | 스테인레스 스틸 지원 선반으로 장착되어 있으며, 선반 사이의 거리를 조절할 수 있습니다. |
| 제어 시스템 | |
| 작동 온도 범위 | 방 온도+10°C~250°C |
| 온도 조절 모드 | PID 닫힌 루프 제어 + SSR 드라이브 |
| 제어 시스템 | PC+PLC 전기 제어 시스템, 윈도우 운영 인터페이스 |
| 온도 정확성 | ±0.5°C |
| 온도 균일성 | ±1.5%°C (무부하) |
| 가열 시간 | ≤15분 ((200°C 무부하) |
| 냉각 속도 | 2~5°C/분 |
| 열력 | 10KW*2 |
| 산소 함량 조절 | ≤500PPM (선택:≤50PPM) |
| 작동 전압 | AC3Ø 5W 380V 50/60HZ |
| 전체 전력 | 21KW |
| MES 통신 프로토콜 | 표준 |
| 위생계급 | 1000급 |
| 기계 매개 변수 | |
| 차원 ((LxWxH) | 1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) mm |
| 무게 | 500~800kg |
| 색상 |
화려하고 뭉클한 흰색 |
알림:
1가스 소스 요구 사항: 질소 작동 압력 (사용 중 압력) >0.5-0.8Mpa, 질소 순도 99.999%.
2전력 요구 사항:
3단계 5선: 전압 380V, 주파수 50/60HZ
2선 지름 25mm 이상, 누출 보호 스위치 100A, 누출 보호 스위치 누출 용량 150-200mA
3바닥 압력 요구 사항: 1000kg/m2
4외부 환기 요구 사항: 2-Ø38mm 외부 지름의 공기 통로, 2*5M3/min의 환기 부피
5환경 요구 사항: 주변 온도 범위는 5~40°C, 상대 습도 범위는 20~95%입니다.
비디오
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